Lanxess朗盛Lewatit UltraPure 1295 ion exchange resin离子交换树脂IER 文案 1:高端半导体超纯水抛光与硼硅去除
Lanxess朗盛Lewatit UltraPure 1295 ion exchange resin离子交换树脂IER 文案 1:高端半导体超纯水抛光与硼硅去除
Lanxess朗盛Lewatit UltraPure 1295 是朗盛专为高端半导体超纯水设计的混床树脂,聚焦硼、硅等难去除杂质的深度去除,适配先进制程晶圆制造LANXESS。其单分散凝胶型树脂组合,阳树脂平均粒径 0.55mm、阴树脂 0.67mm,均一系数≤1.1,交换动力学高效,对硼、硅选择性强,可将硼泄漏控制在≤1.5ppb、硅≤1ppbLANXESS。半导体先进制程对硼硅杂质零容忍,微量硼硅会导致晶圆缺陷、良率下降,Lanxess朗盛Lewatit UltraPure 1295 精准解决该行业核心痛点,保障超纯水电阻率≥18.2MΩ・cmLANXESS。树脂经超纯清洗,有机浸出物≤1.5ppb,金属离子≤0.1ppt,适配半导体极致纯度要求,长期运行性能稳定,减少高纯水系统故障风险LANXESS。
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